MEMS加工 - 鍍膜

鍍膜一般是在真空環境下，將某種金屬或非金屬以氣相的形式沉積到材料表面，形成一層致密的薄膜，鍍膜質量對半導體器件的功能形成至關重要。蘇州博研掌握電子束蒸發、磁控濺射、LPCVD、PECVD、原子層沉積等多種鍍膜技術。