半導體材料 - 光刻膠

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料?？捎糜谏罟杩涛g，適合于高深寬比工藝，透明度高，垂直度好。